Wysokowydajny uchwyt elektrostatyczny z azotku aluminium do zastosowań w półprzewodnikach

Dlaczego azotek glinu? Kluczowe zalety w przetwarzaniu półprzewodników

Nasz uchwyt elektrostatyczny z azotku aluminium został zaprojektowany tak, aby wyróżniał się w środowiskach wymagających dużej precyzji. Rozwiązuje najważniejsze problemy producentów poszukujących większej kontroli i wydajności.

Zaprojektowane właściwości zapewniające najwyższą wydajność

• Wyjątkowa przewodność cieplna (170 W/m·K): Ułatwia szybkie odprowadzanie ciepła, zapewniając jednolitą temperaturę płytki podczas procesów takich jak trawienie i osadzanie – co ma kluczowe znaczenie dla konsystencji.
• Niska stała dielektryczna (8–9 MHz): Zapewnia stabilną izolację elektryczną, minimalizując utratę sygnału i umożliwiając precyzyjne zaciskanie elektrostatyczne w środowiskach o dużym natężeniu częstotliwości radiowych.
• Wysoka wytrzymałość mechaniczna i trwałość: wytrzymuje naprężenia mechaniczne i utrzymuje płaskość, wspierając dokładność litografii w skali nano.
• Rozszerzalność cieplna dopasowana do krzemu: Ściśle dopasowany współczynnik minimalizuje naprężenia płytki podczas szybkich cykli termicznych, redukując defekty i poprawiając wydajność.
• Odporność na utlenianie i chemikalia: Zapewnia długowieczność w agresywnym środowisku plazmowym lub chemicznym, redukując przestoje i koszty konserwacji.

Specyfikacje produktu

Nasze uchwyty elektrostatyczne AlN są produkowane według precyzyjnych standardów, z możliwością dostosowania w celu spełnienia określonych wymagań OEM.

• Materiał: azotek glinu o wysokiej czystości (AlN)
• Funkcja: Izolacja elektryczna i efektywne odprowadzanie ciepła
• Kolor: szary
• Typ: Zaawansowana ceramika techniczna
• Gęstość: 3,3 g/cm3
• Dostosowywanie: wspierane szczegółowymi rysunkami - przyjmujemy zamówienia OEM i niestandardowe.

Najnowsze trendy w technologii branżowej

W sektorze półprzewodników obserwuje się zwrot w kierunku materiałów, które umożliwiają uzyskanie wyższych gęstości mocy i mniejszych rozmiarów. Kluczowe trendy obejmują:

1. Integracja zaawansowanej ceramiki: Oprócz AlN w coraz większym stopniu wykorzystuje się ceramikę kompozytową w wielofunkcyjnych uchwytach, które łączą mocowanie z wbudowanymi kanałami chłodzącymi.
2. Zapotrzebowanie na lepsze zarządzanie ciepłem: W miarę kurczenia się węzłów efektywne odprowadzanie ciepła staje się kluczowe, co powoduje przyjęcie materiałów o wysokiej przewodności cieplnej, takich jak AlN, w porównaniu ze standardowym Al2O3 .
3. Dostosowanie do określonych procesów: Producenci szukają rozwiązań dostosowanych do zastosowań takich jak podłoża półprzewodników mocy i podłoża mikrofalowe RF), gdzie właściwości materiału muszą odpowiadać unikalnym naprężeniom operacyjnym.
4. Zrównoważony rozwój i trwałość: Nacisk na ceramikę o zwiększonej trwałości, aby zmniejszyć ilość odpadów i skrócić czas pracy sprzętu.

Puwei pozostaje w czołówce, inwestując w badania i rozwój, aby dostosować te trendy do naszych linii produktów, od ESC po specjalistyczne grubowarstwowe podłoża ceramiczne).

Podstawowe obszary zastosowań

Nasze uchwyty elektrostatyczne AlN służą różnym gałęziom przemysłu zaawansowanych technologii, wykazując się wszechstronnością i niezawodnością:

• Produkcja półprzewodników mocy: Idealny do produkcji IGBT i MOSFET, gdzie zarządzanie temperaturą ma kluczowe znaczenie. W przypadku innych zastosowań energetycznych nasze podłoża o wysokiej przewodności cieplnej oferują podobne korzyści.
• Produkcja diod LED: zapewnia stabilne mocowanie i odprowadzanie ciepła podczas przetwarzania chipów LED. Poznaj nasze dedykowane podłoża ceramiczne LED, aby uzyskać zoptymalizowane rozwiązania oświetleniowe.
• Zespół diody laserowej: Działa jako skuteczny radiator dla systemów laserowych, podobnie jak nasze komponenty do ceramicznych radiatorów laserowych.
• Elektronika samochodowa: wspiera produkcję ECU i czujników, które wymagają wytrzymałości w trudnych warunkach. Nasze podłoża ceramiczne do elektroniki samochodowej zostały zaprojektowane z myślą o tej odporności.
• Obwody mikrofalowe i RF: Zapewniają niską utratę sygnału i stabilność termiczną w zastosowaniach o wysokiej częstotliwości, uzupełniając nasze ceramiczne płytki drukowane do modułów RF.
• Hybrydowe mikroukłady grubowarstwowe: stanowią niezawodną podstawę dla precyzyjnych procesów osadzania, podobnie jak w przypadku naszych niestandardowych podłoży ceramicznych dostosowanych do konkretnych projektów.

Personalizacja i wsparcie OEM w Puwei

Zdajemy sobie sprawę, że gotowe rozwiązania mogą nie wystarczyć w przypadku zaawansowanej produkcji. Puwei zapewnia kompleksowe usługi dostosowywania – od doboru materiału po obróbkę złożonej geometrii. Nasz zespół ściśle współpracuje z klientami w celu opracowania układów ESC i powiązanych komponentów, takich jak podłoża odporne na wysoką temperaturę, w oparciu o szczegółowe specyfikacje. Ta elastyczność rozciąga się na naszą szerszą ofertę, obejmującą podłoża ceramiczne do urządzeń zasilających do różnorodnych wyzwań termicznych.

Często zadawane pytania (FAQ)

P1: Jak wypada AlN w porównaniu z tlenkiem glinu (Al2O3) w przypadku uchwytów elektrostatycznych?

Odp.: AlN oferuje znacznie wyższą przewodność cieplną (~170 W/m·K w porównaniu z ~20-30 W/m·K w przypadku tlenku glinu), co czyni go lepszym do zastosowań wymagających wysokiej temperatury. Chociaż podłoża zawierające 96% tlenku glinu zapewniają doskonałą izolację elektryczną i opłacalność, AlN jest preferowany tam, gdzie najważniejsze jest zarządzanie ciepłem, na przykład w zaawansowanych półprzewodnikach mocy

P2: Czy Puwei może dostosować konstrukcję uchwytu do konkretnego sprzętu?

O: Tak. Wspieramy pełną personalizację na podstawie rysunków klienta. Nasz proces obejmuje:

1. Konsultacje w celu zrozumienia wymagań aplikacji.
2. Dobór materiałów i prototypowanie.
3. Testowanie w celu sprawdzenia wydajności.
4. Produkcja i zapewnienie jakości.

Takie podejście zapewnia kompatybilność z narzędziami półprzewodnikowymi.

P3: Jakie branże czerpią najwięcej korzyści z uchwytów AlN?

Odp.: Do kluczowych beneficjentów zaliczają się fabryki półprzewodników, producenci urządzeń zasilających, producenci komponentów RF i dostawcy elektroniki samochodowej. Nasze uchwyty są również integralną częścią nowych obszarów, takich jak infrastruktura 5G i elektryczne układy napędowe pojazdów.

Aby uzyskać więcej informacji na temat naszego uchwytu elektrostatycznego z azotku aluminium lub powiązanych produktów, takich jak dyski i podłoża ceramiczne AlN, skontaktuj się już dziś z firmą Shaanxi Puwei Electronic Technology Co., Ltd.. Podziel się swoimi wymaganiami, a nasz zespół ekspertów zapewni dostosowane rozwiązania zwiększające wydajność Twojej produkcji.